滑轨管式炉是为生长石墨烯研制的专用炉，也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验，炉体采用开启式管式炉，炉底安装有直线滑轨，当生长结束后，炉体可自动左右移动，能够保证有足够的空间使实验样品移出炉体，实现快速降温的要求。

滑轨式管式炉主要用途：

西格马滑轨式管式炉采用一体化结构设计，用于1100℃以下快速升温快速降温的特殊工艺要求，通过移动炉体实现快速冷却的目的。同时也可以预先设定温度，然后移动到样品处，达到快速升温的效果。适合用于广泛的RTP工艺及CVD石墨烯工艺。

滑轨管式炉主要结构特点：

炉膛采用质氧化铝多晶纤维材料，保温性能好，耐用，高效节能。

加热元件采用质质合金丝0Cr27Al7Mo2，经久耐用,极限温度可达1200℃。

采用双层壳体结构，结合热感应技术，配有风冷系统，使炉体表面温度快速降温。

可选用KF快速法兰连接，减少了加热管损坏的可能，取、放物料更加方便快捷。

炉体可左右移动，可实现迅速降温，满足材料骤冷骤热的实验要求；

智能PID高精度控制，自整定功能，30段可编程控制，可设置30段升降温程序,实现了功率无损耗。

预留真空、气路快速接口，配合我司真空、混气系统使用；满足用户在不同的真空状态及不同的气氛条件下进行实验。

预留485转换接口，通过我司专用软件，与计算机互联，可实现单台或者多台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能；

具有开启断电，超温报警，漏电保护等安全操作.

滑轨管式炉参数

电炉型号：SGM1200度100滑轨管式炉

炉管尺寸：100*1200mm

工作温度：温度1200℃，连续工作温度≤1100℃

加热元件:电阻丝，三面加热，温场均匀，能耗低

控温精度：±1℃

滑动方式:手动

测温方式:K型热电偶，正上方测温

升温速度：推荐≤10℃/min，*快升温速度20℃/min

控温方式：采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能，30段升降温程序

显示模式：LED数显仪表

炉膛材质:质质氧化铝多晶体纤维固化炉膛

炉管材质:石英管，长期1100度使用

流量监测:浮子流量计25ML—250ML/min

工作正压:机械压力表，0.02mpa

恒温区域:加热区长度440mm，恒温区200mm；（可选购加长恒温区)

额定功率：3kw

额定电压：AC220V50/60Hz

可选真空:机械泵10^-2torr，（≤20Pa）、分子泵10^-5torr，

（≤0.005Pa）

可充气氛

氮气，氧气和氩气及其它惰性气体

操作安全

开门断电、超温报警、漏电保护功能

质量保证

质保期1年，相关耗材除外，如加热元件易耗材等，终身保修

选购配件

炉架，计算机控制软件等。

标准配置

防护手套1双；坩埚钳1把；刚玉舟1只；石英管1根；炉塞4个；炉勾1把；6号内六角（法兰专用）；法兰1套；高压气管1套；高温密封圈8个；产品说明书1份；仪表说明书1份；保修证书1份。