1200℃二通道混气高真空CVD系统：双温区管式炉+二通道混气系统_1200℃二通道混气高真空CVD系统品牌哪个好

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1200℃二通道混气高真空CVD系统：双温区管式炉+二通道混气系统

名称：1200℃二通道混气高真空CVD系统厂家发布时间： 2020-04-08 点击数：76

洛阳赛特瑞可生产1200三温区3路质量供气高真空CVD系统、1200双温区3路质量供气高真空CVD系统、1200双温区2路质量供气高真空CVD系统、低真空CVD系统。CVD系统由真空管式炉与真空系统、混气系统组成。主要应用于气氛保护烧结、材料还原、材料真空脱气，精密材料真空热处理、时效处理、CVD实验等一些需要高真空或气氛保护环境下的热处理实验。

PECVD系统等离子体化学气相沉积系统

1200 ℃ 二通道混气高真空CVD 系统简介：

1200 ℃ 二通道混气高真空CVD系统的管式炉采用双层壳体结构，炉膛采用氧化铝纤维材料，能使样品加热到1200℃ 。左法兰上安装一个数字式真空显示计，右法兰上安装有一KF-25 接口，可以与机械泵相连接（抽速为226L/m）。同时左法兰上安装有φ6.35的卡套接头，使得炉体可与混气系统相连接。精度的控温系统提供30段升温和降温程序，其控温精度度为+/- 1 ℃ 。

主要功能和特点：

1、系统启动快，抽气时间短，可获得无油污染的清洁真空环境；

2、真空度显示采用科学计数法,数字显示,使用方便直观；

3、测量精度高、稳定性好、抗干扰能力强；

4、系统操作方便，简单易懂；

5、可抽吸无腐蚀性、不溶于水、不含有固体颗粒的气体，吸入气体中允许混有少量液体。

6、一体式炉架结构，可移动，组合、安装方便灵活；

1200 ℃ 二通道混气高真空CVD 系统主要技术参数

型号		炉管尺寸（ mm ）	功率（KW ）	外形尺寸（mm ）	电压（V ）
HTF1100-6/40-HV-2M		Φ60×1000	3	D610×W1220×H660	220
其它尺寸可根据客户需求定制
额定温度	≤1200 ℃
工作温度	≤1100 ℃
加热区长度	400mm
恒温区长度	200mm
加热元件	掺钼铁铬铝合金加热丝
炉壳结构	双层壳体结构
炉膛材质	质高纯氧化铝多晶体纤维
炉管材质	高纯石英管
炉门结构	翻盖开启式
温控系统	PID 调节、自整定功能，并可编制30 段升降温程序
测温方式	K 型热电偶
控温精度	±1.0℃
升温速率	推荐≤5 ℃ /min ，设计快升温速率≤10 ℃ /min
降温速度	700 ℃ 以上≤5 ℃ /min
真空度	6.7x10-4Pa
气体流量	M 1 范围: 0~100 sccm ；M 2范围: 0~200 sccm；
电炉结构
产品结构	落地式，控制部分位于机台下方；
炉壳结构	双层炉壳，壳体间风扇制冷，可使炉体表面快速降温。
节能效果	★ 保温时仅需40% 功率
控温系统	温度控制为模糊PID 微电脑自动演算,PV/SV同时显示按键设定；温度控制方式为P.I.D+S.S.R 可控硅；控制方式：30 段PID程序控温；
真空系统	安装在移动架底部的机械泵，真空度达 6.7x10-4Pa. 真空泵与手动挡板阀之间用KF25 快接与不锈钢波纹管连接.数字真空表安装在一端的法兰上.
混气系统	M 1 范围: 0~100 sccm ；M 2范围: 0~200 sccm；
加热元件	质掺钼铁铬铝合金加热丝，温场均匀，能耗低；升温速率建议: 5 ℃ /Min Max:10 ℃ /Min
保温及加热方式	耐高温纤维及空气隔热；加热方式为热辐射及自然对流；
炉膛保温材料	质高纯氧化铝多晶体纤维，不易掉粉、寿命长且保温性能好。
安全保护装置	保险丝；电热过电流保护装置；